行程(mm)

200*200*100mm

外形尺寸(mm)

1600*600*1550mm

儀器重量(kg)

75kg

機臺承重(kg)

3kg

機臺結構

平臺復合移動式，鋼架結構，樣品不動，機器三軸運動

速度(mm/S)

XY軸: Max移動速度300，Max加速度1000  Z軸: Max移動速度100，Max加速度400

精度(μm)

Eux,mpe Euy mpe：1.9 +  L/200   μm

Euz,mpe：2.0 +   L/250   μm

Euxy,mpe：3.0  +   L/200 μm

光柵尺

0.1μm高精度金屬光柵

電機

X/Y軸有鐵芯高速直線電機；  Z1、Z2軸高性能高精度伺服電機

運動控制系統

自主開發超高脈沖直線電機運動控制系統

CCD相機

CCD1：大于等于2500萬像素，1.1英寸測量專用彩色CCD，搭配定倍雙遠心高清鏡頭

鏡頭

鏡頭1：定倍雙遠心高清鏡頭0.27X，視野47*35mm

a.          分辨率高：分辨率1.0μm,支持1英寸高分辨率相機

b.         重復精度高，單視野尺寸測量：重復性小于0.5μm，精度小于1μm

c.          高速采集測量，支持不停機飛拍測量

光源

a.          輪廓光：高亮白色平行遠心冷光源；

b.         表面光：四環四路四色冷光源。

光譜共焦位移

傳感器

a.          非接觸式光學共焦測量技術，穩定量測各類材質，例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等，小型輕量，工作距離適配變倍鏡頭，量程大；

b.         支持點光譜取點及三軸掃描，可取單點及掃描取點測量高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等測量等，并可支持3軸聯動式不停機點云掃描；

c.          點光譜測量傳感器：工作距離：33mm；測量范圍：0.28 ~ 8mm；測量角度：±18°；測量精度小于0.5μm。

計算機

Intel Core i7以上工控機（ 酷睿四核CPU），16G RAM、500 GB HD   27" 彩色超窄邊框IPS 分辨率：1920×1080，Windows 10 （實際配置以出廠為準，不低于以上配置）

環境要求

電源：220V 50/60Hz(3kw)  氣源：0.6MP；20L/min

溫度：20°C±2°C   1°C/1h   2°C/24h    1°C/m     濕度：40% ~ 80%